今天漓源環(huán)保給大家介紹一下多晶硅廢水處理工藝，硅單質(zhì)作為重要的光電材料、半導(dǎo)體材料，其戰(zhàn)略資源的地位日益明顯，其全球需求量亦不斷增大。在光電、半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中，需要將單質(zhì)硅體切割成符合要求的硅片，目前多晶硅主要是采用多線切割技術(shù)，在切割過(guò)程中約50%的硅料混進(jìn)由聚乙二醇(PEG)切削液和碳化硅粉(SiC)磨料組成的切削液中，使得切削液中微粉的組成、粒徑、硬度均不滿足標(biāo)準(zhǔn)，造成切削性能下降，不能重復(fù)利用，因此在切割過(guò)程中需要不斷地排出舊切削液，并不斷補(bǔ)充新切削液，這樣就產(chǎn)生了大量的切割廢液。

切削廢液為黑色粘稠狀懸浮液，主要組分及含量為:聚乙二醇(PEG)，40%~50%;碳化硅(SiC)，23% ~33%;硅(Si)，20% ~24%;鐵屑(Fe) ,2.5% ~3.0%。其中，PEG的原料是石油中提煉出來(lái)的，再聚合而成，分子結(jié)構(gòu)穩(wěn)定，不易分解，極易溶于水，生物耗氧量低，在自然界中不易降解，其C0D(化學(xué)需氧量)值大大超過(guò)廢水排放標(biāo)準(zhǔn)，如不經(jīng)過(guò)特殊處理，流入自然環(huán)境將會(huì)造成巨大污染。SiC和Si都是重要的工業(yè)原料。生產(chǎn)SiC原料過(guò)程中要消耗巨大能源，現(xiàn)已對(duì)此新工業(yè)項(xiàng)目進(jìn)行限制。其中的Si為切磨下來(lái)的高純硅粉，若直接排放會(huì)造成環(huán)境污染和硅材料的浪費(fèi)。

目前對(duì)于這種多晶硅廢水處理，有兩種思路:一種是處理達(dá)標(biāo)后排放。常用多晶硅廢水處理工藝方法有微生物法、氧化法等,對(duì)于這種重要含PEG的廢水，微生物法工藝復(fù)雜，處理效率低,處理效果差，幾乎不可能達(dá)標(biāo)；氧化法處理效果較好，但運(yùn)行費(fèi)用較高，工藝控制復(fù)雜；其它的常用污水處理方法也很難適用；另一種思路是將廢液分級(jí)回收處理，因?yàn)閺U水中的PEG、SiC和Si都是重要的工業(yè)原料。因此，分級(jí)回收和利用硅切割廢液對(duì)于節(jié)約資源、保護(hù)環(huán)境、提高經(jīng)濟(jì)效益具有重要意義，國(guó)外已經(jīng)有相對(duì)較為成熟的處理回收技術(shù)，國(guó)內(nèi)這方面多晶硅廢水處理工藝技術(shù)還不成熟，大多處于研究階段。

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