硅晶片被廣泛應用于集成電路中，在硅晶片蝕刻工藝中產生的廢水帶來的污染嚴重，建立一套完善的硅晶片蝕刻廢水處理系統不僅可以減少污染，也能節約資源。下面漓源環保為您介紹一種應用在此類工業廢水處理中的系統。

這種硅晶片蝕刻廢水處理系統中包含與工作槽相連通以接收工作槽中的硅晶片蝕刻廢水從而分離出固體Si和殘余廢液的固液分離裝置；用于接收殘余廢液的酸再生與硅再生系統，其中酸再生與硅再生系統與固液分離裝置相連通；與酸再生與硅再生系統相連通以接收酸再生與硅再生系統導出的含固體Si、氣體HF及多余H2SiF6溶液的混合物的減壓蒸餾裝置，減壓蒸餾裝置還與固液分離裝置相連通；及與減壓蒸餾裝置以及工作槽相連通的酸性吸收塔。

在硅晶片蝕刻廢水處理中由固液分離裝置分離出固體Si，并得到殘余廢液；由酸再生與硅再生系統中的電解反應槽使殘余廢液中的H2SiF6溶液發生電解反應，以得到固體Si、氣體HF，將氣體HF和一部分氣體NO2收集于水中，以形成HF溶液和HNO3溶液組成的混合酸蝕刻溶液。電解得到的固體Si導入到固液分離裝置中進行分離并回收再利用。

在硅晶片蝕刻廢水處理系統可實現資源的回收利用，也減少了污染，同時具有經濟效益和環保效益。如果您對硅晶片蝕刻廢水處理還有什么疑問，歡迎咨詢漓源環保工程師。

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