制藥廢水處理的光化學氧化法包括光激發氧化法(如O₃/UV)和光催化氧化法(如TiO₂/UV)。光激發氧化法主要以O₃、H₂O₂、O₂和空氣作為氧化劑，在光輻射作用下產生羥基自由基HO·。光催化氧化法則是在反應溶液中加入一定量的半導體催化劑，使其在紫外光(UV)的照射下產生HO·。

兩者都是通過HO·的強氧化作用對有機污染物進行處理。其中，氧化效果較好的是紫外光催化氧化法，它的作用原理是讓有機化合物中的C-C、C-N鍵吸收紫外光的能量而斷裂，使有機物逐漸降解，然后以CO₂的形式離開體系。

光催化氧化法的優點：

1.反應條件溫和、氧化能力強;

2.在制藥廢水、有機磷化合物、多環芳烴等廢水處理中，都能有效地進行光催化反應，使其轉化為無機小分子，達到完全無害化的目的;

3.光催化反應對許多無機物，如CN-、Au(CN)^2-、I-、SCN^-、Cr²O₇^2-、Hg(CH₃)₂、Hg²⁺等的去除也有廣闊的應用前景;

4.可以破壞氰化物，以及電鍍常用的各種有機螯合劑和添加劑，而達無害化;

5.可以除去各種水中的微生物、細菌和霉菌;

6.不僅可以破壞稀溶液(廢水)中的有機物，而且可以破壞濃溶液(槽液)中的有機物;

7.是一種非常清潔的干處理法，不會引入任何其他物質到體系中;

8.能徹底破壞有機物而使其轉化為CO₂排出，處理的深度比其他方法高。

光催化氧化法的缺點：

1.紫外光的吸收范圍較窄，光能利用率較低，其效率還會受催化劑性質、紫外線波長和反應器的限制，短波紫外線(波長小于1700A)比長波的效果好，但短波紫外光較難獲得。

2.光催化需要解決透光度的問題，因為某些制藥廢水(如原料藥廢水)中的一些懸浮物和較深的色度都不利于光線的透過，會影響光催化效果。

3.目前使用的催化劑多為納米顆粒(太大時催化效果不好)，回收困難，而且光照產生的電子一空穴對易復合而失活。

與其他高級氧化技術聯合使用，可以提高處理效率，增強氧化能力。

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